D: Forschungsschwerpunkte: Ueberblick

Übersicht über die Forschungsinhalte
der Arbeitsgruppe "Niedertemperaturplasmaphysik" der Universität Greifswald

Hier finden Sie zunächst einige Bilder von den Apparaturen,
eine Auflistung bisheriger und laufender Forschungsprojekte
sowie im folgenden die Forschungsschwerpunkte:

Diagnostik von elektrischen Gasentladungen:
Plasmaphysikalische Charakterisierung von elektrischen Gasentladungen im DC-Betrieb sowie bei unterschiedlicher Anregungsfrequenz und Energieeinkopplung vom Niederdruckbereich bis zu transienten Entladungen unter Normaldruck.

Verwendete Entladungsformen:

Diagnostische Methoden:

Ausgewählte Arbeiten / Abstracts:

	Hochfrequenzentladung
	anomale Glimmentladung
	Hohlkathodenentladung
	positive Säule
	dielektrisch behinderte Entladung

	elektrische Sondenmessungen (auch in instationären und inhomogenen Plasmen)
	zeitaufgelöste optische Emissions- Spektroskopie: Cross- Correlation (CCS 0,3ns), Intensivierte CCD (2 ns)
	Absorptionsspektroskopie
	Laserverfahren (LIF+TALIF)
	Massenspektrometrie (MS) extrahierter Ionen/Neutrale: Energieselektive- , Schwellwert- Elektronenanlagerungs- MS
	Gaschromatographie

	Räumlich und zeitlich aufgelöste Diagnostik (Spektroskopie) der Barriere-Entladung in Luft bei Atmosphärendruck, Cross- Correlation- Spectroscopy (2001).
	Räumliche Dichteverteilungen von N2-Tripletts im RF-Niederdruckplasma (LIF + OES), Kalibration der Dichte, axiale Profile, Dissertation.
	Emissionspektroskopische Untersuchungen in CF4/O2 -Niederdruckplasmen, Diplomarbeit (2000).

Plasmachemische Stoffwandlung:
Modellierung plasmachemischer Stoffwandlungsprozesse auf mikroskopischer und makroskopischer Ebene einschließlich irreversibler Plasma-Festkörper-Wechselwirkungen. Ausbau der Methode der Makroskopischen Kinetik und Beiträge zur plasmachemischen Ähnlichkeit in nichtthermischen plasmachemischen Reaktoren.

Themen:

Methoden:

Ausgewählte Arbeiten / Abstracts:

	Gasumwandlung
	Materialabtrag
	Oberflächenmodifizierung
	Schichtanscheidung

	Makroskopische Kinetik
	plasmachemischen Ähnlichkeit
	Modellierung von Stoffwandlungsprozessen (mikroskopisch---makroskopisch)

	Kohlendioxid-Konversion, IR-Dioden-Laser Absorptions-Spektroskopie in Niederdruck- Glimmentladungen (2002).
	Untersuchungen zu niedermolekularen Produkten bei der Umwandlung von Hexamethyldisiloxan (HMDSO) in RF-Entladungen (ESCAMPIG 2000, Ungarn)

Plasma-Festkörper-Wechselwirkung:
Untersuchung von Elementarprozessen beim Übergang Plasma - Festkörperoberfläche

Ausgewählte Themen:

Analyseverfahren:

Ausgewählte Arbeiten / Abstracts:

	Charakterisierung von Plasmagrenzschichten
	Charakterisierung/Analyse von Oberflächen und dünnen Schichten
	Struktur-Eigenschafts-Beziehungen plasmamodifizierter Polymeroberflächen und dünner organischer Schichten (insbesondere optische Eigenschaften)

	Spezialverfahren der FTIR-Spektroskopie (ATR, Evaneszenzwelle-Spektroskopie, IRRAS)
	in situ Ellipsometrie, Spektralellipsometrie, Plasmonenellipsometrie
	in situ Mikrogravimetrie

	In-situ Charakterisierung der Schichtbildung in molekularen Niedertemperaturplasmen, Ellipsometrie, FTIR und Mikrogravimetrie (2001).
	Infrarotspektroskiopische Charakterisierung plasmamodifizierter Polymeroberflächen, Dissertation (1996).