Workshop "Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen"

Programm
XI. Erfahrungsaustausch
"Oberflächentechnologie mit Plasmaprozessen"

Mühlleithen, 2. bis 4. März 2004

Dienstag 2. März 2004

	H. Neumann
9.00	Begrüßung und Informationen der Veranstalter
9.15	Mathias Schubert, Uni Leipzig Optische Analytikverfahren für die Dünnschichtcharakterisierung
10.00	Michael Tartz, Frank Scholze, Eberhard Hartmann, Horst Neumann, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig Möglichkeiten der Strahlprofilsteuerung von Breitstrahlionenquellen (1 MB)
10.20	Mirko Nitschke, S. Zschoche, F. Simon, C. Werner, Institut für Polymerforschung Dresden Plasmaimmobilisierung funktioneller Dünnschichten auf Polymeroberflächen
10:40	Pause

	F. Richter
11.00	Stefan Sienz, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig Der Einfluss eines niederenergetischen Ionenstrahls bei der Molekularstrahlepitaxie von dünnen GaN-Schichten (1 MB)
11.20	Günter J. Peter, Inficon Energie- oder Winkeldispersion bei der Extraktion von Ionen aus einem Plasma (0.5 MB)
11.40	Thomas Schwarz-Selinger, Max-Planck-Institut für Plasmaphysik Garching Zerlegung von Massenspektren mit Hilfe der Bayes'schen Datenanalyse (0.2 MB)
12.00	Klaus Ellmer, Hahn-Meitner Institut Berlin Magnetronsputtern von Sulfiden für die Photovoltaik (0.8 MB)

12:20	Mittagspause
	B. Rauschenbach
13.30	Frank Richter, Technische Universität Chemnitz Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten
14.15	Dirk Pasedag, H.-E. Wagner, E.-M.-Arndt-Universität Greifswald Räumlich und zeitlich aufgelöste Spektroskopie an reaktiven Strahlplasmen bei Atmosphärendruck (0.4 MB)
14.35	Udo Grabowy, NTTF GmbH Klinische Biomineralisation-Verminderung der Kristallisation auf urologischen Kathetern durch amorphe Kohlenstoffschichten (1.2 MB)
14.55	Swen Marke, IfU Abbildende Spektroskopie am Beispiel der Plasmaaktivierung von CO2 mittels Mikrowellen bei Atmosphärendruck (1.1 MB)
15.15	Babara Abendroth, R. Gago, F.Eichhorn, A. Kolitsch, W. Möller, Forschungszentrum Rossendorf Ionen-induzierte Spannungsrelaxation während der Magnetron Abscheidung von kubischen Bornitrid Schichten (0.3 MB)

15.35	Pause
	W. Jacob
16.10	Jürgen Meinhardt, Dietmar Hirsch, Reiner Mehnert, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig Praktische Erfahrungen bei XPS-Messungen von Kunststoffen - Voraussetzungen und Grenzen (0.6 MB)
16.30	Stephan Mändl, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig "Radiation Enhanced Diffusion" bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation? (1.8 MB)
16.50	Renate Mix, G. Kühn, J. Friedrich, Bundesanstalt für Materialforschung und –prüfung Berlin Plasmachemische Synthese von polymeren Modelloberflächen (0.4 MB)
17.10	Thoralf Dunger, Th. Welzel, H. Kupfer, F. Richter, Technische Universität Chemnitz Charakterisierung einer gepulsten Magnetronentladung zur Abscheidung von MgO mittels zeitaufgelöster Sondenmessungen (0.2 MB)
17.30	Matthias Nestler, D. Roth, S. Roth, Roth & Rau AG Anlagen- und in situ Prozessmesstechnik zur PVD-Multilagendeposition
17.50	Mirko Schulze, AIS Automation GmbH Hochflexible Steuerungssysteme für Labor - und Produktionsanlagen mit integrierter Layertechnologie
18.10	Sören Irmer, Universität Kassel Reaktives Ionenätzen für die Herstellung vertikaler, mikromechanisch aktuierbarer, optischer Bauelemente (0.5 MB)

Mittwoch 3. März

J. Friedrich

9.00 Axel Schindler, T. Hänsel, A. Nickel, F. Frost, R. Fechner, D. Flamm, N. Razek, G. Böhm*, W. Frank, R. Schwabe**, H. Neumann und B. Rauschenbach,
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig, * Jenoptik L.O.S. GmbH, Jena, ** Nanotechnologie Leipzig GmbH, Leipzig
Ultrapräzise Oberflächenbearbeitung mit Nanometer-Tiefengenauigkeit mit Ionenstrahl- und Plasmajetätzen

9.45 Frank Frost, Bashkim Ziberi, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig
Ionenstrahlglättung von Si-Oberflächen: Grundlagen und Anwendungen (3 MB)

10.05 Frank Scholze, Michael Tartz, Horst Neumann, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung, Leipzig
Charakterisierung und Anwendungsmöglichkeiten einer geclusterten Ionenstrahlquelle (0.8 MB)

10.25 Ines Dani, Fraunhofer Institut für Werkstoff- und Strahltechnik Dresden
Atmosphärendruck - PECVD zur Großflächenbeschichtung (1.5 MB)

10.45 Pause

H. Kersten

11.10 Steffen Jankuhn, Eberhard Hartmann, Horst Neumann, Frank Scholze, Michael Tartz, Leibniz- Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig
Modellierungsansatz für eine DC-Heißkatodenplasmaanregung (3 MB)

11.30 Alexey Kondyurin, Institut für Polymerforschung Dresden
Ion Beam Modification of Polymers (1.5 MB)

11.50 Hermann Schlemm, JENION
Plasmaanalyse mit Randschichtsondenarrays und Gegenfeldanalysatoren

12.10 Christian Hoffmann, Incoatec GmbH, Geesthacht
Neue Röntgenoptiken für Röntgendiffraktometrie (1.6 MB)

12.30 Alexandra Oehr, Incoatec GmbH, Geesthacht
Herstellung von Multilayerfilmen für Röntgenoptiken (5 MB)

12.50 Thomas Arnold, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig
Massenspektrometrische Untersuchungen am reaktiven Ar/SF6/N2 – Plasmajet (1.1 MB)

13.10 Mittagspause

Nachmittag: Diskussionen

Donnerstag 4. März

S. Mändl

9.00 Wolfgang Jacob, Max-Planck-Institut für Plasmaphysik Garching
Chemische Zerstäubung von Kohlenstoff durch Wasserstoff (0.8 MB)

9.45 Martin Geigl, Jürgen Meichsner, E.-M.-Arndt-Universität Greifswald
Massenspektrometrische Analyse reaktiver Spezies in gepulsten CF4/H2-Entladungen (1.3 MB)

10.05 Darina Manova, Stephan Mändl, Horst Neumann, Bernd Rauschenbach, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig
Improved Wear Resistance of Martensite Stainless Steel (1 MB)

10.25 Do Hoang Tung, Holger Kersten; Institut für Niedertemperaturplasmaphysik Greifswald
Particle formation in process plasmas (1.8 MB)

10.45 Pause

H.-E. Wagner

11.05 Ruben Wiese*, Holger Kersten*, Frank Scholze**, Horst Neumann**, *Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik Greifswald , **Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig
Charakterisierung von Ionenstrahlquellen

11.25 Amer Tarraf, Roth & Rau AG
Organische und anorganische durchstimmbare photonische Mikrokavitätsbauelemente für die Datenübertragungstechnik (1 MB)

11.45 Kamel Silmy, Fraunhofer Institut angewandte Polymerforschung
Mikrojet – CVD (0.3 MB)

12.05 Jan Schäfer, Jürgen Meichsner, E.-M.-Arndt-Universität Greifswald
Oberflächendiagnostik von synthetischen Polymerproben in einem Niedertemperaturplasma (1.3 MB)

12.25 Mittagspause